?無塵車間工程施工完成后,驗收要求主要包括以下幾個方面:
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一、環境參數驗收
溫度和濕度
溫度應在設計要求的范圍內,通常根據具體的生產工藝需求確定,例如電子制造行業可能要求溫度在 22℃±2℃。
濕度一般也有嚴格的控制范圍,比如在 45% RH - 65% RH 之間。驗收時需使用專業的溫濕度計在車間內不同位置進行多點測量,確保溫濕度均勻穩定且符合標準。
例如,在制藥無塵車間中,適宜的溫濕度可以保證藥品生產過程的穩定性和質量。
潔凈度
這是無塵車間最重要的驗收指標之一。根據不同的潔凈等級要求,采用塵埃粒子計數器對空氣中的懸浮粒子進行檢測。
例如,對于 ISO 5 級的無塵車間,每立方米空氣中粒徑≥0.5μm 的懸浮粒子數不得超過 3520 個,粒徑≥5μm 的懸浮粒子數為 0。
檢測應在車間正常運行狀態下,在不同區域、不同高度進行多點采樣,以確保整個車間的潔凈度符合設計要求。
壓差
無塵車間不同區域之間應保持一定的壓差,以防止空氣的交叉污染。一般來說,潔凈區與非潔凈區之間的壓差應不小于 10Pa,不同潔凈等級區域之間的壓差也有相應的要求。
驗收時使用壓差計測量各區域之間的壓差,確保壓差符合設計標準。例如,在半導體制造無塵車間中,高潔凈度區域與低潔凈度區域之間的壓差控制對于芯片生產的質量至關重要。
二、工程質量驗收
裝修材料和施工工藝
檢查無塵車間的裝修材料是否符合要求,如墻面、地面、吊頂等材料是否具有良好的密封性、耐腐蝕性和易清潔性。
施工工藝應精細,墻面與地面的交接處應密封良好,無裂縫、空鼓等現象;吊頂的安裝應牢固,平整度符合要求。
例如,墻面采用的彩鋼板應具有一定的強度和剛度,表面光滑,易于清潔消毒;地面的環氧自流平應平整、無起泡、無開裂。
通風系統
檢查通風系統的安裝質量,包括風管的密封性、風機的運行穩定性、過濾器的安裝牢固性等。
驗收時應進行風量測試,確保通風系統能夠提供足夠的風量和風速,滿足車間的潔凈度要求。例如,高效過濾器的安裝應嚴密,無泄漏,其過濾效率應符合設計要求。
同時,通風系統的噪音應在規定范圍內,不影響車間內的工作環境。
電氣系統
檢查電氣系統的布線是否規范、安全,插座、開關等電氣設備的安裝是否牢固、可靠。
照明系統應滿足車間的照度要求,燈具的安裝位置應合理,無眩光。例如,在食品加工無塵車間中,照明度應不低于 500Lux,以確保生產過程的安全和質量。
電氣系統還應具備良好的接地和漏電保護措施,確保人員和設備的安全。
給排水系統
檢查給排水管道的安裝是否牢固、密封良好,無滲漏現象。
純水系統應能夠提供符合要求的水質,驗收時需對純水的電阻率、微生物含量等指標進行檢測。例如,在電子芯片制造無塵車間中,純水的電阻率應達到 18.2MΩ?cm 以上。
排水系統應暢通無阻,且具備防止廢水倒流的措施。
三、設備設施驗收
凈化設備
檢查空氣凈化設備,如高效過濾器、FFU(風機過濾單元)等的運行性能。確保設備能夠正常啟動、運行穩定,過濾效果符合要求。
例如,高效過濾器的初始壓差應在合理范圍內,隨著使用時間的增加,壓差的變化應符合設備的性能曲線。
工藝設備
對于無塵車間內的生產工藝設備,如光刻機、封裝設備等,應檢查其安裝是否符合要求,運行是否穩定,與無塵車間的環境是否兼容。
例如,一些高精度的生產設備對環境的振動、溫度、濕度等要求非常嚴格,驗收時需確保這些設備在無塵車間內能夠正常工作。
安全設施
檢查無塵車間的安全設施是否齊全,如消防設備、應急照明、安全出口等。
消防設備應符合相關標準,定期進行檢查和維護;應急照明應在停電時能夠自動啟動,保證人員安全疏散;安全出口應暢通無阻,標識明顯。