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I)選址:振動、土質和將來場地的發展;b)結構設計:無塵車間樓面支撐、剛性、隔離縫;c)機械設計:設備選型、系統設計、性能規格、隔振系統、噪聲控制系統(內部和外部);d) 建筑布局:建筑和設施的布置圖,綠化區、服務系統。
F.4.2聲壓級應該根據人員的舒適和安全及環境(如其它設備)產牛的背景聲壓級來選擇需要的聲雎級。潔凈室.漫施標準的A-1J權聲壓級范圍在55 dB - 65 dB。有些應用可能要求的級別較低,或能容忍較高的級別。噪聲控制的測量應該按照IS0 3746進行。
F43.1 潔凈室設施巾振動是個需要考慮的重要問題,兇為它對工藝、人的舒適和設備及系統的有效使用期限都會產生不利的影響。
F.43.2 凈化車間 設施中應通過采用優質風機和振動控制設備等方法盡可能減少振動,或把振動源隔離。
F.4.3.3 如要求控制振動,應按IS0 1940-1和IS0 10816-1規定允許的級別。
F.5節能.設計r1,應該考慮節能措施,如在沒有任何活動時減少或關閉溫度和濕度控制,降低空氣流速。但應能夠在規定的自凈期內恢復到使用條件。